Тэхнічны кансультант RSM падзеліцца з вамі перавагамі цыліндрычных і планарных магнетронных мішэняў?У параўнанні з іншымі магнетроннымі мішэнямі, цыліндрычныя і плоскія магнетронныя мішэні захоўваюць перавагі добрай аднастайнасці пакрыцця прамавугольных плоскіх мішэняў і могуць максімальна павялічыць выкарыстанне мішэняў наступнымі двума спосабамі:
(1) Калі дзве групы (чатыры) колцавых паглыбленняў на паверхні мішэні дасягаюць пэўнай глыбіні, стрыжань мішэні (магнітная частка) можна павярнуць на 45° адносна трубы мішэні, каб іншыя вобласці на трубе мішэні якія не падвергліся карозіі, можна выкарыстоўваць;
(2) Калі стрыжань мішэні цыліндрычнай і плоскай магнетроннай мішэні для распылення выкананы як стрыжань мішэні, які верціцца (стрыжань мішэні круціцца падчас распылення), паверхня мішэні можа быць раўнамерна распылена пласт за пластом без ям.У гэты час мішэнь будзе выкарыстоўвацца найбольш эфектыўна, і каэфіцыент выкарыстання мішэні можа дасягаць 50% ~ 60%. Калі мэтавым матэрыялам з'яўляецца каштоўны метал, гэта, відавочна, мае вялікае значэнне.
Выкарыстоўваючы прынцып магніта з полюсным башмаком у кааксіяльнай цыліндрычнай магнетроннай распыляльнай мішэні для вырашэння праблемы канцавога магнітнага поля, прастакутная плоская мішэнь можа быць ператворана ў цыліндрычную і плоскую магнетронную распыляльную мішэнь. Мішэнь можа максымізаваць каэфіцыент выкарыстання мішэні захоўваючы добрую аднастайнасць пакрыцця прастакутнай плоскай мішэні, каб палепшыць эканамічныя выгады.
Час публікацыі: 4 ліпеня 2022 г