У мэтах падтрымкі плёнкавых п'езаэлектрычных датчыкаў MEMS (pMEMS) і кампанентаў радыёчастотных (РЧ) фільтраў алюмініевы скандыевы сплаў, выраблены кампаніяй Rich Special Material Co., Ltd., спецыяльна выкарыстоўваецца для рэактыўнага нанясення плёнак нітрыду алюмінія, легаваных скандыем. .
Тонкаплёнкавыя п'езаэлектрычныя матэрыялы ўсё часцей выкарыстоўваюцца ў аўтамабільным, прамысловым і асабістым электронным абсталяванні.Прыкладанні ўключаюць датчыкі адбіткаў пальцаў на аснове pmt і прылады распазнавання жэстаў, мікрафоны MEMS, хімічныя датчыкі на аснове рэзанатара і медыцынскія датчыкі.Акрамя таго, плёнкі з нітрыду алюмінія, легаваныя скандыем, усё больш патрэбныя для рэалізацыі радыёчастотных фільтраў для сеткавых прыкладанняў 5G.У той жа час павялічваецца колькасць алюмініевага скандыевага сплаву.
Уласцівасці сплаву Al Sc
Высокая стабільная хімічная аднастайнасць ва ўсім сплаве
Высокая стабільная хімічная аднастайнасць плёнкі на працягу ўсяго тэрміну службы чыпа і сплаву
Чысціня>99,9%, нізкае ўтрыманне кіслароду, нізкае ўтрыманне крытычных забруджвальных рэчываў
Строга кантралюйце мікраструктуру для дасягнення найлепшых характарыстык распылення
Вакуумны літой, цалкам шчыльны сплаў з нізкай адгезіяй, нізкай зменлівасцю і нізкай зярністасцю
Rich Special Material Co., Ltd. падтрымлівае разнастайныя паслугі па выплаўцы сплаваў, наладжванні мэт і R&D.
Час публікацыі: 11 лістапада 2022 г