Як мы ўсе ведаем, існуе мноства спецыфікацый мішэняў для распылення, і вобласці іх прымянення таксама вельмі шырокія.Тыпы мішэняў, якія звычайна выкарыстоўваюцца ў розных галінах, таксама розныя.Сёння давайце даведаемся аб класіфікацыі абласцей прымянення распыляльных мішэняў з рэдактарам RSM!
1、 Вызначэнне мішэні распылення
Распыленне - адна з асноўных тэхналогій атрымання тонкаплёнкавых матэрыялаў.Ён выкарыстоўвае іёны, якія ўтвараюцца крыніцай іёнаў, для паскарэння і збору ў вакууме для фарміравання высакахуткаснага пучка іёнаў, бамбардзіроўкі паверхні цвёрдага цела, і іёны абменьваюцца кінетычнай энергіяй з атамамі на паверхні цвёрдага цела, так што атамы на цвёрдай паверхні паверхні аддзяляюцца ад цвёрдага цела і наносяцца на паверхню падкладкі.Бамбардзіраванае цвёрдае рэчыва з'яўляецца сыравінай для падрыхтоўкі тонкай плёнкі, асаджанай распыленнем, якая называецца распыляльнай мішэнню.
2、 Класіфікацыя мішэняў для распылення
1. Паўправадніковая мішэнь
(1) Агульныя мэты: агульныя мэты ў гэтай галіне ўключаюць металы з высокай тэмпературай плаўлення, такія як тантал / медзь / тытан / алюміній / золата / нікель.
(2) Выкарыстанне: у асноўным выкарыстоўваецца ў якасці асноўнай сыравіны для інтэгральных схем.
(3) Патрабаванні да прадукцыйнасці: высокія тэхнічныя патрабаванні да чысціні, памеру, інтэграцыі і г.д.
2. Мэта для плоскага дысплея
(1) Агульныя мэты: агульныя мэты ў гэтай галіне ўключаюць алюміній / медзь / малібдэн / нікель / ніобій / крэмній / хром і г.д.
(2) Выкарыстанне: гэты тып мішэні ў асноўным выкарыстоўваецца для розных тыпаў фільмаў вялікай плошчы, такіх як тэлевізары і ноўтбукі.
(3) Патрабаванні да прадукцыйнасці: высокія патрабаванні да чысціні, вялікай плошчы, аднастайнасці і г.д.
3. Мішэневы матэрыял для сонечнай батарэі
(1) Агульныя мішэні: алюміній / медзь / малібдэн / хром /ITO/Ta і іншыя мішэні для сонечных батарэй.
(2) Выкарыстанне: у асноўным выкарыстоўваецца ў «аконным слоі», бар'ерным слоі, электродзе і токаправоднай плёнцы.
(3) Патрабаванні да прадукцыйнасці: высокія тэхнічныя патрабаванні і шырокі спектр прымянення.
4. Мішэнь для захоўвання інфармацыі
(1) Агульныя мішэні: агульныя мішэні з кобальту / нікеля / ферасплаву / хрому / тэлуру / селену і іншых матэрыялаў для захоўвання інфармацыі.
(2) Выкарыстанне: гэты від мэтавага матэрыялу ў асноўным выкарыстоўваецца для магнітнай галоўкі, сярэдняга пласта і ніжняга пласта аптычнага прывада і аптычнага дыска.
(3) Патрабаванні да прадукцыйнасці: патрабуецца высокая шчыльнасць захоўвання і высокая хуткасць перадачы.
5. Мэта для мадыфікацыі інструмента
(1) Агульныя мішэні: звычайныя мішэні, такія як тытан / цырконій / хром-алюмініевы сплаў, мадыфікаваны інструментамі.
(2) Выкарыстанне: звычайна выкарыстоўваецца для ўмацавання паверхні.
(3) Патрабаванні да прадукцыйнасці: высокія патрабаванні да прадукцыйнасці і працяглы тэрмін службы.
6. Мішэні для электронных прылад
(1) Агульныя мішэні: звычайныя мішэні з алюмініевага сплаву/сіліцыду для электронных прылад
(2) Прызначэнне: звычайна выкарыстоўваецца для тонкаплёнкавых рэзістараў і кандэнсатараў.
(3) Патрабаванні да прадукцыйнасці: невялікі памер, стабільнасць, нізкі тэмпературны каэфіцыент супраціву
Час публікацыі: 27 ліпеня 2022 г