Нядаўна многія сябры пыталіся пра характарыстыкі малібдэнавых мішэняў для распылення.Якія патрабаванні прад'яўляюцца да характарыстык малібдэнавых мішэняў для распылення ў электроннай прамысловасці, каб павысіць эфектыўнасць распылення і забяспечыць якасць нанесеных плёнак?Зараз нам гэта растлумачаць тэхнічныя эксперты з RSM.
1. Чысціня
Высокая чысціня з'яўляецца асноўным характарыстыкай мішэні для распылення малібдэна.Чым вышэй чысціня малібдэнавай мішэні, тым лепш прадукцыйнасць плёнкі з напыленнем.Як правіла, чысціня малібдэнавай распыляльнай мішэні павінна быць не менш за 99,95% (масавая доля тая ж, што ніжэй).Аднак з бесперапынным паляпшэннем памеру шкляной падкладкі ў індустрыі ВК-экранаў неабходна павялічыць даўжыню правадоў і паменшыць шырыню лініі.Каб забяспечыць аднастайнасць плёнкі і якасць праводкі, чысціню малібдэнавай мішэні для распылення таксама неабходна адпаведна павялічыць.Такім чынам, у залежнасці ад памеру шкляной падкладкі з напыленнем і асяроддзя выкарыстання чысціня мішэні для распылення малібдэна павінна складаць 99,99% - 99,999% або нават вышэй.
Малібдэнавая мішэнь для распылення выкарыстоўваецца ў якасці крыніцы катода пры распыленні.Прымешкі ў цвёрдым рэчыве, а таксама кісларод і вадзяная пара ў порах з'яўляюцца асноўнымі крыніцамі забруджвання асаджаных плёнак.Акрамя таго, у электроннай прамысловасці, паколькі іёны шчолачных металаў (Na, K) лёгка становяцца рухомымі іёнамі ў ізаляцыйным пласце, прадукцыйнасць арыгінальнай прылады зніжаецца;Такія элементы, як уран (U) і тытан (TI), будуць вылучацца α-рэнтгенаўскім выпраменьваннем, што прывядзе да мяккай паломкі прылад;Іёны жалеза і нікеля прывядуць да ўцечкі межы падзелу і павелічэння колькасці кіслародных элементаў.Такім чынам, у працэсе падрыхтоўкі мішэні для распылення малібдэна трэба строга кантраляваць гэтыя прымесныя элементы, каб мінімізаваць іх утрыманне ў мішэні.
2. Зярністасць і размеркаванне
Як правіла, малібдэнавая мішэнь для распылення мае полікрышталічную структуру, а памер зерня можа вар'іравацца ад мікрона да міліметра.Эксперыментальныя вынікі паказваюць, што хуткасць распылення дробназярністай мішэні вышэй, чым буйназерністай;Для мішэні з невялікай розніцай у памеры зерня размеркаванне таўшчыні нанесенай плёнкі таксама больш раўнамернае.
3. Арыентацыя крышталя
Паколькі падчас распылення атамы мішэні лёгка пераважна распыляць уздоўж напрамку бліжэйшага размяшчэння атамаў у шасцікутным кірунку, для дасягнення найвышэйшай хуткасці распылення хуткасць распылення часта павялічваюць шляхам змены крышталічнай структуры мішэні.Напрамак крышталя мішэні таксама аказвае вялікі ўплыў на аднастайнасць таўшчыні напыленай плёнкі.Такім чынам, вельмі важна атрымаць пэўную крышталёва арыентаваную структуру мішэні для працэсу распылення плёнкі.
4. Ушчыльненне
У працэсе напылення пакрыцця, калі напыляльная мішэнь з нізкай шчыльнасцю бамбардзіруецца, газ, які існуе ва ўнутраных порах мішэні, раптоўна вылучаецца, што прыводзіць да распылення буйных часціц мішэні або часціц, або бамбардзіроўцы плёнкавага матэрыялу другаснымі электронамі пасля адукацыі плёнкі, што прыводзіць да распырсквання часціц.З'яўленне гэтых часціц пагоршыць якасць плёнкі.Для таго, каб паменшыць пары ў цвёрдай мішэні і палепшыць характарыстыкі плёнкі, мішэнь для распылення звычайна павінна мець высокую шчыльнасць.Для мішэні для распылення малібдэна яе адносная шчыльнасць павінна быць больш за 98%.
5. Прывязка мішэні і шасі
Як правіла, малібдэнавая мішэнь для распылення павінна быць злучана з шасі з бескіслароднай медзі (або алюмінія і іншых матэрыялаў) перад напыленнем, каб цеплаправоднасць мішэні і шасі была добрай падчас працэсу напылення.Пасля звязвання трэба правесці ультрагукавой кантроль, каб пераканацца, што плошча несклейвання абодвух складае менш за 2%, каб адпавядаць патрабаванням высокамагутнага распылення без падзення.
Час публікацыі: 19 ліпеня 2022 г