1. Метад магнетроннага распылення:
Магнетроннае напыленне можна падзяліць на напыленне пастаянным токам, сярэднечашчыннае напыленне і радыёчастотнае напыленне
А. Электрасілкаванне з напыленнем пастаяннага току таннае, а шчыльнасць нанесенай плёнкі нізкая.Як правіла, бытавыя фотатэрмічныя і тонкаплёнкавыя акумулятары выкарыстоўваюцца з нізкай энергіяй, а мішэнню для распылення з'яўляецца металічная мішэнь, якая праводзіць.
Б. Энергія радыёчастотнага распылення высокая, і мішэнь для распылення можа быць неправоднай або токаправоднай мішэнню.
C. Мішэнь для сярэднечашчыннага напылення можа быць керамічнай або металічнай.
2. Класіфікацыя і прымяненне мішэняў для распылення
Існуе шмат відаў мішэняў для распылення, і метады іх класіфікацыі таксама розныя.Па форме яны падзяляюцца на доўгія тарчы, квадратныя тарчы і круглыя тарчы;Па складзе яго можна падзяліць на металічную мішэнь, мішэнь са сплаву і керамічную мішэнь;У залежнасці ад розных абласцей прымянення іх можна падзяліць на паўправадніковыя керамічныя мішэні, керамічныя мішэні для запісу, керамічныя мішэні для адлюстравання і г. д. Распыляльныя мішэні ў асноўным выкарыстоўваюцца ў электроннай і інфармацыйнай прамысловасці, напрыклад, у індустрыі захоўвання інфармацыі.У гэтай прамысловасці мішэні для распылення выкарыстоўваюцца для падрыхтоўкі адпаведных тонкаплёнкавых прадуктаў (цвёрдых дыскаў, магнітных галовак, аптычных дыскаў і г.д.).Зараз.З бесперапынным развіццём інфармацыйнай індустрыі на рынку расце попыт на керамічныя мішэні для запісу сярэдняга памеру.Даследаванне і вытворчасць носьбітаў запісу мішэняў апынуліся ў цэнтры ўвагі.
Час публікацыі: 11 мая 2022 г