Мэта мае шмат эфектаў, а прастора для развіцця рынку вялікая.Гэта вельмі карысна ў многіх галінах.Амаль ва ўсім новым абсталяванні для распылення выкарыстоўваюцца магутныя магніты для спіралі электронаў для паскарэння іянізацыі аргону вакол мішэні, што прыводзіць да павелічэння верагоднасці сутыкнення мішэні з іёнамі аргону.Зараз давайце паглядзім на ролю распыляльнай мішэні ў вакуумным пакрыцці.
Палепшыць хуткасць распылення.Як правіла, напыленне пастаянным токам выкарыстоўваецца для нанясення металічных пакрыццяў, у той час як напыленне пераменным токам выкарыстоўваецца для неправодных керамічных магнітных матэрыялаў.Фундаментальны прынцып заключаецца ў выкарыстанні тлеючага разраду для ўздзеяння іёнаў аргону (AR) на паверхню мішэні ў вакууме, і катыёны ў плазме паскараюцца, каб кінуцца да паверхні адмоўнага электрода ў выглядзе пырскаў матэрыялу.Гэта ўздзеянне прымусіць матэрыял мішэні вылятаць і асядаць на падкладцы, утвараючы плёнку.
Наогул кажучы, ёсць некалькі характарыстык плёнкавага пакрыцця ў працэсе напылення: (1) метал, сплаў або ізалятар могуць быць ператвораны ў плёнку.
(2) Пры адпаведных умовах наладкі плёнка з аднолькавым складам можа быць выраблена з некалькіх неўпарадкаваных мішэняў.
(3) Сумесь або злучэнне матэрыялу мішэні і малекул газу можа быць атрымана шляхам дадання кіслароду або іншых актыўных газаў у атмасферы разраду.
(4) Зададзены ўваходны ток і час напылення можна кантраляваць, і лёгка атрымаць высокадакладную таўшчыню плёнкі.
(5) У параўнанні з іншымі працэсамі, гэта спрыяе вытворчасці аднастайных плёнак вялікай плошчы.
(6) Распыленыя часціцы амаль не падвяргаюцца ўплыву гравітацыі, і пазіцыі мішэні і падкладкі могуць быць арганізаваны свабодна.
Час размяшчэння: 17 мая 2022 г