Малібдэнавыя мішэні з напыленнем шырока выкарыстоўваюцца ў электроннай прамысловасці, сонечных батарэях, шкляных пакрыццях і іншых галінах з-за іх уласцівых пераваг.З хуткім развіццём сучасных тэхналогій у галіне мініяцюрызацыі, інтэграцыі, алічбоўкі і інтэлекту выкарыстанне малібдэнавых мішэняў будзе працягваць павялічвацца, і патрабаванні да іх якасці таксама будуць станавіцца ўсё больш высокімі.Такім чынам, нам трэба знайсці спосабы палепшыць узровень выкарыстання малібдэнавых мішэняў.Цяпер рэдактар RSM прадставіць некалькі метадаў павышэння каэфіцыента выкарыстання распыляемых малібдэнавых мішэняў для ўсіх
1. Дадайце электрамагнітную шпульку на адваротны бок
Для павышэння каэфіцыента выкарыстання малібдэнавай мішэні з распыленнем малібдэна можна дадаць электрамагнітную катушку на адваротным баку плоскай малібдэнавай мішэні з магнетронным распыленнем, а магнітнае поле на паверхні малібдэнавай мішэні можна павялічыць за кошт павелічэння току электрамагнітнай шпулькі, каб палепшыць каэфіцыент выкарыстання малібдэнавай мішэні.
2. Выберыце матэрыял трубчастай верціцца мішэні
У параўнанні з плоскімі мішэнямі выбар трубчастай верціцца мішэні падкрэслівае яе істотныя перавагі.Як правіла, каэфіцыент выкарыстання плоскіх мішэняў складае ўсяго ад 30% да 50%, у той час як каэфіцыент выкарыстання трубчастых верціцца мішэняў можа дасягаць больш за 80%.Больш за тое, пры выкарыстанні мішэні магнетроннага распылення з полай трубкай, якая верціцца, паколькі мішэнь можа ўвесь час круціцца вакол вузла фіксаванага стрыжня магніта, на яе паверхні не будзе паўторнага адкладу, таму тэрмін службы мішэні, якая верціцца, звычайна больш чым у 5 разоў. чым у плоскай мішэні.
3. Замяніць абсталяванне для распылення на новае
Ключ да павышэння каэфіцыента выкарыстання мэтавых матэрыялаў - завяршэнне замены распыляльнага абсталявання.У працэсе напылення матэрыялу мішэні для распылення малібдэна прыкладна адна шостая атамаў, якія распыляюцца, асядае на сценцы або кранштэйне вакуумнай камеры пасля ўздзеяння іёнаў вадароду, што павялічвае выдаткі на ачыстку вакуумнага абсталявання і час прастою.Такім чынам, замена новага абсталявання для распылення таксама можа дапамагчы палепшыць узровень выкарыстання распыляемых малібдэнавых мішэняў.
Час размяшчэння: 24 мая 2023 г