Цяпер мы павінны быць добра знаёмыя з мішэнню, цяпер мэтавы рынак таксама расце, наступнае - асноўная прадукцыйнасць распыляльнай мішэні, якой падзяліўся рэдактар з RSM
Чысціня
Чысціня матэрыялу мішэні з'яўляецца адным з асноўных паказчыкаў эфектыўнасці, таму што чысціня матэрыялу мішэні мае вялікі ўплыў на характарыстыкі тонкай плёнкі.Аднак у практычным прымяненні патрабаванні да чысціні мэтавых матэрыялаў не аднолькавыя.Напрыклад, з хуткім развіццём індустрыі мікраэлектронікі памер крамянёвага чыпа быў павялічаны з 6 цаляў, 8 цаляў да 12 цаляў, а шырыня праводкі была зменшана з 0,5 мкм да 0,25 мкм, 0,18 мкм ці нават 0,13 мкм.Раней чысціня мэтавага матэрыялу 99,995% магла адпавядаць патрабаванням працэсу 0,35 мкМ.Чысціня мэтавага матэрыялу складае 99,999% ці нават 99,9999% для падрыхтоўкі ліній 0,18 мкм.
Змест прымешак
Прымешкі ў мэтавым цвёрдым рэчыве, а таксама кісларод і вадзяная пара ў порах з'яўляюцца асноўнымі крыніцамі забруджвання плёнкі.Мэтавыя матэрыялы для розных мэтаў маюць розныя патрабаванні да рознага ўтрымання прымешак.Напрыклад, да мішэняў з чыстага алюмінія і алюмініевых сплаваў, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковай прамысловасці, прад'яўляюцца асаблівыя патрабаванні да ўтрымання шчолачных металаў і радыеактыўных элементаў.
Шчыльнасць
Каб паменшыць сітаватасць цвёрдага цела мішэні і палепшыць характарыстыкі напыляльнай плёнкі, звычайна патрабуецца высокая шчыльнасць мішэні.Шчыльнасць мішэні ўплывае не толькі на хуткасць распылення, але і на электрычныя і аптычныя ўласцівасці плёнкі.Чым вышэй мэтавая шчыльнасць, тым лепшая прадукцыйнасць плёнкі.Акрамя таго, павелічэнне шчыльнасці і трываласці мішэні робіць мішэнь лепш супрацьстаяць тэрмічнай нагрузцы ў працэсе распылення.Шчыльнасць таксама з'яўляецца адным з ключавых паказчыкаў эфектыўнасці мэты.
Зярністасць і зярністасць
Мішэнь звычайна полікрышталічная з памерам зерня ад мікраметра да міліметра.Для адной і той жа мішэні хуткасць распылення мішэні з дробнымі зернямі вышэй, чым мішэні з буйнымі зернямі.Размеркаванне таўшчыні плёнак, нанесеных мішэнню распылення з меншай розніцай у памерах зерняў (раўнамернае размеркаванне), больш раўнамернае.
Час публікацыі: 4 жніўня 2022 г