З-за высокай тэмпературнай стабільнасці, высокага супраціву міграцыі электронаў і высокага каэфіцыента эмісіі электронаў тугаплаўкага вальфраму і вальфрамавых сплаваў мішэні з вальфраму і вальфрамавых сплаваў высокай чысціні ў асноўным выкарыстоўваюцца для вытворчасці электродаў засаўкі, злучальнай праводкі, дыфузійных бар'ерных слаёў і г.д. паўправаднікоў. інтэгральных схем, і прад'яўляюць высокія патрабаванні да чысціні, зместу прымесных элементаў, шчыльнасці, памеру зярністасці і аднастайнасці зярністай структуры матэрыялаў.Зараз давайце паглядзім на фактары, якія ўплываюць на падрыхтоўку мішэні з вальфраму высокай чысціні.
1、 Уплыў тэмпературы спякання
Працэс фарміравання эмбрыёна вальфрамавай мішэні звычайна вырабляецца шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання.Зерне вальфраму будзе расці ў працэсе спякання.Рост вальфрамавага збожжа запоўніць прабел паміж межамі збожжа, тым самым палепшыўшы шчыльнасць вальфрамавай мішэні.З павелічэннем часу спякання павелічэнне шчыльнасці вальфрамавай мішэні паступова запавольваецца.Асноўная прычына ў тым, што пасля шматразовага спякання якасць вальфрамавай мішэні не моцна змянілася.Паколькі большасць пустэч на мяжы збожжа запоўнена крышталямі вальфраму, пасля кожнага спякання агульная хуткасць змены памеру вальфрамавай мішэні была вельмі малой, што прывяло да абмежавання прасторы для павелічэння шчыльнасці вальфрамавай мішэні.У працэсе спякання вырастыя збожжа вальфраму запаўняюцца ў пустэчы, што прыводзіць да больш высокай шчыльнасці мішэні з меншым памерам часціц.
2、 Уплыў часу ўтрымання
Пры той жа тэмпературы спякання кампактнасць вальфрамавай мішэні будзе палепшана з падаўжэннем часу вытрымкі спякання.З падаўжэннем часу вытрымкі памер збожжа вальфраму будзе павялічвацца, а з падаўжэннем часу вытрымкі час росту памеру збожжа будзе паступова запавольвацца, што азначае, што павелічэнне часу вытрымкі таксама можа палепшыць прадукцыйнасць вальфрамавай мішэні.
3、 Уплыў качэння на ўласцівасці мэты
Каб палепшыць шчыльнасць матэрыялу вальфрамавай мішэні і атрымаць структуру апрацоўкі вальфрамавай мішэні, сярэднетэмпературная пракатка вальфрамавай мішэні павінна праводзіцца ніжэй тэмпературы рэкрышталізацыі.Калі тэмпература пракаткі мэтавай нарыхтоўкі высокая, структура валокнаў мэтавай нарыхтоўкі будзе грубай, і наадварот.Калі хуткасць цёплай пракаткі дасягае больш за 95%.Нягледзячы на тое, што розніца ў структуры валакна, выкліканая рознымі зыходнымі зернямі або рознымі тэмпературамі пракаткі, будзе ліквідавана, унутраная структура мішэні будзе ўтвараць адносна аднастайную структуру валакна, таму чым вышэй хуткасць апрацоўкі цёплай пракаткі, тым лепш прадукцыйнасць мішэні
Час публікацыі: 15 лютага 2023 г