Шырокае выкарыстанне мэтавага матэрыялу ў розных прафесіях павышае попыт на мэтавы матэрыял.Наступнае Мы будзем коратка прадставіць вы якія асноўныя функцыянальныя патрабаванні мэты, хопінж каб дапамагчы вам.
Чысціня: Чысціня з'яўляецца адным з асноўных функцыянальных паказчыкаў мішэні, таму што чысціня мішэні мае вялікі ўплыў на функцыю плёнкі.Але на практыцы чысціня мэтавага матэрыялу не такая.Напрыклад, з хуткім ростам прафесіі мікраэлектронікі памер крамянёвай пласціны павялічыўся з 6", 8" да 12", а шырыня праводкі зменшылася з 0,5 мкм да 0,25 мкм, 0,18 мкм і нават 0,13 мкм.Як толькі 99,995% мэтавай чысціні можа адпавядаць тэхналагічным патрабаванням 0,35UMIC.Падрыхтоўка лініі 0,18 мкм патрабуе 99,999% ці нават 99,9999% чысціні мэтавага матэрыялу.
Шчыльнасць: для таго, каб паменшыць сітаватасць цвёрдага цела мішэні і палепшыць функцыю распыляльнай плёнкі, мішэнь звычайна павінна мець высокую шчыльнасць.Шчыльнасць мішэні ўплывае не толькі на хуткасць распылення, але і на электрычныя і аптычныя ўласцівасці плёнак.Чым вышэй шчыльнасць мішэні, тым лепш функцыянуе плёнка. Акрамя таго, шчыльнасць і трываласць матэрыялу мішэні былі павялічаны, каб зрабіць яго больш здольным супрацьстаяць цеплавым нагрузкам падчас распылення.Таксама адным з важных функцыянальных паказчыкаў мэтавых рэчываў з'яўляецца шчыльнасць.
Змест прымешак: прымешкі ў мэтавым цвёрдым рэчыве, а таксама кісларод і вадзяная пара ў порах з'яўляюцца асноўнымі крыніцамі забруджвання назапашаных плёнак. Розныя мэтавыя матэрыялы для розных мэтаў маюць розныя патрабаванні да рознага ўтрымання прымешак.Напрыклад, мішэні з чыстага алюмінію і алюмініевых сплаваў, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковай прамысловасці, маюць асаблівыя патрабаванні да ўтрымання шчолачных металаў і радыеактыўных элементаў.
Час публікацыі: 6 чэрвеня 2022 г