Тугаплаўкія вальфрамавыя металы і вальфрамавыя сплавы валодаюць перавагамі высокай тэмпературнай стабільнасці, высокай устойлівасці да міграцыі электронаў і высокага каэфіцыента эмісіі электронаў.Мішэні з вальфраму і вальфрамавых сплаваў высокай чысціні ў асноўным выкарыстоўваюцца для вырабу электродаў засаўкі, злучальнай праводкі, дыфузійных бар'ерных слаёў паўправадніковых інтэгральных схем.Да іх прад'яўляюцца вельмі высокія патрабаванні да чысціні, зместу прымесных элементаў, шчыльнасці, зярністасці і аднастайнай зярністай структуры матэрыялаў.Давайце паглядзім на фактары, якія ўплываюць на падрыхтоўку мішэні з вальфраму высокай чысцініby Rich Special Material Co., Ltd.
I. Уплыў тэмпературы спякання
Працэс фарміравання вальфрамавай мішэні эмбрыёна звычайна вырабляецца халодным ізастатычным ціскам.Збожжа вальфраму будзе расці падчас спякання.Рост вальфрамавага збожжа запоўніць прабел паміж межамі крышталя, павялічваючы такім чынам шчыльнасць вальфрамавай мішэні.З павелічэннем часу спякання павелічэнне шчыльнасці вальфрамавай мішэні паступова запавольваецца.Асноўная прычына ў тым, што якасць матэрыялу вальфрамавай мішэні не моцна змянілася пасля некалькіх працэсаў спякання.Паколькі большасць пустэч на мяжы крышталя запоўнена крышталямі вальфраму, агульная хуткасць змены памеру вальфрамавай мішэні вельмі малая пасля кожнага працэсу спякання, што прыводзіць да абмежавання прасторы для павелічэння шчыльнасці вальфрамавай мішэні.Па меры спякання буйныя вальфрамавыя збожжа запаўняюцца ў пустэчах, у выніку чаго атрымліваецца больш шчыльная мішэнь меншага памеру.
2. Уплыўhёсць час кансервацыі
Пры той жа тэмпературы спякання кампактнасць вальфрамавай мішэні паляпшаецца з павелічэннем часу спякання.З павелічэннем часу спякання павялічваецца памер збожжа вальфраму, а з падаўжэннем часу спякання каэфіцыент росту памеру збожжа паступова запавольваецца.Гэта паказвае, што павелічэнне часу спякання можа таксама палепшыць характарыстыкі вальфрамавай мішэні.
3. Уплыў качэння на Target Pпрадукцыйнасць
Каб палепшыць шчыльнасць вальфрамавых мішэняў і атрымаць структуру апрацоўкі вальфрамавых мішэняў, сярэднетэмпературная пракатка вальфрамавых мішэняў павінна праводзіцца ніжэй тэмпературы рэкрышталізацыі.Калі тэмпература пракаткі нарыхтоўкі мішэні высокая, структура валокнаў нарыхтоўкі мішэні тоўшчы, а валакна нарыхтоўкі мішэні больш тонкая.Пры гарачай пракатцы выхад складае вышэй за 95%.Нягледзячы на тое, што розніца ў структуры валакна, выкліканая рознай тэмпературай зыходнага зерня спякання або пракаткі, будзе ліквідавана, унутры мішэні будзе сфарміравана больш аднастайная структура валакна, таму чым вышэй хуткасць апрацоўкі цёплай пракаткі, тым лепш прадукцыйнасць мішэні.
Час публікацыі: 05 мая 2022 г