Мэта мае мноства функцый і шырокае прымяненне ў многіх галінах.Новае абсталяванне для распылення амаль выкарыстоўвае магутныя магніты для спіралі электронаў для паскарэння іянізацыі аргону вакол мішэні, што павялічвае верагоднасць сутыкнення мішэні з іёнамі аргону,
Павялічце хуткасць распылення.Як правіла, распыленне пастаяннага току выкарыстоўваецца для нанясення металічных пакрыццяў, у той час як напыленне радыёчастотнай сувязі выкарыстоўваецца для неправодных керамічных магнітных матэрыялаў.Асноўны прынцып заключаецца ў выкарыстанні тлеючага разраду для ўздзеяння іёнаў аргону (AR) на паверхню мішэні ў вакууме, і катыёны ў плазме паскараюцца, каб кінуцца да паверхні адмоўнага электрода ў выглядзе пырскаў матэрыялу.Гэта ўздзеянне прымусіць матэрыял мішэні вылятаць і асядаць на падкладцы, утвараючы плёнку.
Увогуле, існуе некалькі асаблівасцяў плёнкавага пакрыцця з дапамогай працэсу напылення:
(1) Метал, сплаў або ізалятар могуць быць зроблены ў тонкаплёнкавыя дадзеныя.
(2) Пры адпаведных умовах наладкі плёнка з аднолькавым складам можа быць выраблена з некалькіх неўпарадкаваных мішэняў.
(3) Сумесь або злучэнне матэрыялу мішэні і малекул газу можа быць атрымана шляхам дадання кіслароду або іншых актыўных газаў у атмасферы разраду.
(4) Зададзены ўваходны ток і час напылення можна кантраляваць, і лёгка атрымаць высокадакладную таўшчыню плёнкі.
(5) Гэта выгадна для вытворчасці іншых фільмаў.
(6) Распыленыя часціцы амаль не падвяргаюцца ўплыву гравітацыі, і мішэнь і падкладка могуць быць арганізаваны свабодна.
Час размяшчэння: 24 мая 2022 г