Напэўна, многія карыстальнікі чулі пра прадукт распылення мішэні, але прынцып распылення мішэні павінен быць адносна незнаёмы.Цяпер рэдактар стБагаты спецыяльны матэрыял (RSM) падзяляе прынцыпы магнетроннага распылення мішэні.
Артаганальнае магнітнае поле і электрычнае поле дадаюцца паміж напыленым электродам-мішэнню (катодам) і анодам, неабходны інэртны газ (як правіла, газ Ar) запаўняецца ў высокавакуумную камеру, пастаянны магніт утварае магнітнае поле 250 ~ 350 Гаўса на паверхні мэтавых дадзеных, і артаганальнае электрамагнітнае поле фармуецца з электрычным полем высокага напружання.
Пад дзеяннем электрычнага поля газ Ar іянізуецца ў станоўчыя іёны і электроны.Да мэты дадаецца пэўнае адмоўнае высокае напружанне.Ўздзеянне магнітнага поля на электроны, выпраменьваныя з полюса мішэні, і верагоднасць іянізацыі працоўнага газу павялічваюцца, утвараючы каля катода плазму высокай шчыльнасці.Пад уздзеяннем сілы Лорэнца іёны Ar паскараюцца да паверхні мішэні і бамбяць паверхню мішэні на вельмі высокай хуткасці. Распыленыя атамы на мішэні прытрымліваюцца прынцыпу пераўтварэння імпульсу і адлятаюць ад паверхні мішэні да падкладкі з высокай кінетычнай энергіяй. дэпазітаваць фільмы.
Магнетроннае распыленне звычайна падзяляецца на два тыпы: трыбутарнае распыленне і радыёчастотнае распыленне.Прынцып абсталявання для трыбутарнага распылення просты, і яго хуткасць таксама высокая пры распыленні металу.Шырока выкарыстоўваецца радыёчастотнае напыленне.У дадатак да распылення токаправодных матэрыялаў, ён можа таксама распыляць неправодныя матэрыялы.У той жа час ён таксама праводзіць рэактыўнае распыленне для падрыхтоўкі матэрыялаў з аксідаў, нітрыдаў, карбідаў і іншых злучэнняў.Калі ВЧ частата павялічваецца, гэта стане мікрахвалевае плазменнае распыленне.Зараз шырока выкарыстоўваецца мікрахвалевае плазменнае распыленне электроннага цыклатроннага рэзанансу (ЭЦР).
Час размяшчэння: 31 мая 2022 г