1、 Падрыхтоўка да распылення
Вельмі важна падтрымліваць у чысціні вакуумную камеру, асабліва сістэму распылення.Любыя рэшткі, якія ўтвараюцца змазачным алеем, пылам і папярэднім пакрыццём, будуць збіраць вадзяную пару і іншыя забруджвальныя рэчывы, што будзе непасрэдна ўплываць на ступень вакууму і павялічваць верагоднасць паломкі плёнкі.Кароткае замыканне або іскрэнне мішэні, шурпатая паверхня плёнкі і празмернае ўтрыманне хімічных прымешак часта ўзнікаюць з-за нячыстай камеры распылення, распыляльніка і мішэні.Для захавання характарыстык складу пакрыцця неабходна ачысціць і высушыць распыляючы газ (аргон або кісларод).Пасля ўстаноўкі падкладкі ў камеру распылення неабходна выцягнуць паветра, каб дасягнуць неабходнага для працэсу вакууму.Ахоўная вечка ў цёмным месцы, сценкі паражніны і прылеглая паверхня таксама павінны быць чыстымі.Пры ачыстцы вакуумнай камеры мы рэкамендуем выкарыстоўваць дробеструйную апрацоўку шклянымі шарыкамі для апрацоўкі пыльных частак разам са сціснутым паветрам для выдалення ранніх рэшткаў распылення вакол камеры, а затым спакойна адпаліраваць знешнюю паверхню наждачнай паперай, прасякнутай аксідам алюмінію.Пасля паліроўкі марлевай паперы яе чысцяць спіртам, ацэтонам і дэіянізаванай вадой.Разам ён выступае за выкарыстанне прамысловага пыласоса для дапаможнай уборкі.Мішэні вытворчасці Gaozhan metal спакаваныя ў вакуумныя поліэтыленавыя пакеты,
Убудаваны вільгацеахоўны сродак.Пры выкарыстанні мішэні не дакранайцеся непасрэдна да мішэні рукой.Заўвага: пры выкарыстанні мішэні апранайце чыстыя і безворсавыя пальчаткі для абслугоўвання.Ніколі не дакранайцеся да мэты непасрэдна рукамі
2、 Мэтавая ачыстка
Мэта ачысткі мішэні - выдаліць пыл або бруд, якія могуць знаходзіцца на паверхні мішэні.
Металічная мішэнь можа быць ачышчана ў чатыры этапы,
Першы крок - ачыстка мяккай безворсовой тканінай, змочанай у ацэтоне;
Другі крок аналагічны першаму, ачыстка спіртам;
Крок 3: ачысціце дэіянізаванай вадой.Пасля прамывання дэіянізаванай вадой пастаўце мішэнь у духоўку і высушыце яе пры 100 ℃ на працягу 30 хвілін.
Ачыстка аксідных і керамічных мішэняў павінна праводзіцца з дапамогай «безворсовой тканіны».
Чацвёрты этап - прамыванне мішэні аргонам пад высокім ціскам і нізкім узроўнем вадзянога газу пасля выдалення запыленага ўчастка, каб выдаліць усе прымешкі, якія могуць утварыць дугу ў сістэме распылення.
3、 Мэтавая прылада
Важнымі мерамі засцярогі ў працэсе ўстаноўкі мішэні з'яўляецца забеспячэнне добрай цеплаправоднасці паміж мішэнню і астуджальнай сценкай распыляльнай гарматы.Калі дэфармацыя астуджальнага стрыжня сур'ёзная або дэфармацыя задняй пласціны сур'ёзная, мішэневая прылада трэсне або сагнецца, і цеплаправоднасць ад задняй мішэні да мішэні будзе моцна закранута, што прывядзе да збою рассейвання цяпла у працэсе распылення, і мішэнь трэсне або прамахнецца
Каб забяспечыць цеплаправоднасць, паміж сценкай астуджэння катода і мішэнню можна пракласці пласт графітавай паперы.Калі ласка, звярніце ўвагу на тое, каб уважліва праверыць і высветліць роўнасць астуджальнай сценкі пісталета-распыляльніка, каб гарантаваць, што ўшчыльняльнае кольца заўсёды знаходзіцца на месцы.
Паколькі чысціня астуджальнай вады, якая выкарыстоўваецца, і пыл, які можа ўзнікнуць падчас працы абсталявання, будуць адкладацца ў рэзервуары для астуджальнай вады катода, неабходна праверыць і ачысціць рэзервуар для астуджальнай вады катода пры ўсталёўцы мішэні, каб забяспечыць бесперабойную працу цыркуляцыі астуджальнай вады і што ўваход і выхад не будуць заблакіраваны.
Некаторыя катоды плануецца мець невялікую прастору з анодам, таму пры ўсталёўцы мішэні неабходна пераканацца, што паміж катодам і анодам няма дотыку або правадніка, інакш адбудзецца кароткае замыканне.
Звярніцеся да Кіраўніцтва па эксплуатацыі абсталявання для атрымання інфармацыі аб тым, як правільна кіраваць мішэнню.Калі такой інфармацыі няма ў кіраўніцтве карыстальніка, паспрабуйце ўсталяваць прыладу ў адпаведнасці з рэкамендацыямі Gaozhan metal.Пры зацягванні мэтавага прыстасавання спачатку закруціце адзін ніт уручную, а затым уручную закруціце другі ніт па дыяганалі.Паўтарайце гэта, пакуль усе балты на прыладзе не будуць зацягнуты, а затым зацягніце чым-небудзь.
4、 Праверка кароткага замыкання і герметычнасці
Пасля завяршэння ўстаноўкі мэтавай прылады неабходна праверыць кароткае замыканне і герметычнасць усяго катода,
Вызначаць, ці няма кароткага замыкання ў катодзе, прапануецца з дапамогай вымяральніка супраціву
Дыскрымінацыя радкоў.Пасля пацверджання адсутнасці кароткага замыкання ў катодзе можна правесці выяўленне ўцечкі і ўвесці ваду ў катод, каб пацвердзіць, ці ёсць уцечка вады.
5、 Перад распыленнем мішэні
Папярэдне напыленне мішэні падтрымлівае напыленне чыстым аргонам, якое можа ачысціць паверхню мішэні.Калі мішэнь папярэдне напылена, рэкамендуецца павольна павялічваць магутнасць напылення, а хуткасць павелічэння магутнасці керамічнай мішэні складае 1,5 Вт·гадз/см2.Хуткасць папярэдняга распылення металічнай мішэні можа быць вышэй, чым у керамічнага блока мішэні, а разумная хуткасць павелічэння магутнасці складае 1,5 Вт·гадз/см2.
У працэсе папярэдняга распылення нам трэба праверыць дугу мішэні.Час папярэдняга распылення звычайна складае каля 10 хвілін.Калі няма з'явы дугі, пастаянна павялічвайце магутнасць распылення
Да зададзенай магутнасці.Згодна з вопытам, прымальная Z высокая магутнасць распылення металічнай мішэні
25 ват / см2, 10 ват / см2 для керамічнай мішэні.Калі ласка, звярніцеся да асновы налад і вопыту ціску ў вакуумнай камеры падчас распылення ў інструкцыі па эксплуатацыі сістэмы.Як правіла, трэба пераканацца, што тэмпература вады на выхадзе астуджальнай вады павінна быць ніжэй за 35 ℃, але Z важна пераканацца, што сістэма цыркуляцыі астуджальнай вады можа працаваць эфектыўна
Хуткая цыркуляцыя пераахалоджанай вады адбірае цяпло, што з'яўляецца важнай гарантыяй бесперапыннага распылення з высокай магутнасцю.Для металічных мішэняў звычайна рэкамендуецца паток астуджальнай вады
Ціск вады 20 л/мін складае каля 5 г/м;Для керамічных мішэняў звычайна рэкамендуецца, каб паток вады быў 30 л/мін, а ціск вады - каля 9 гмп.
6、 Мэтавае абслугоўванне
Для прадухілення кароткага замыкання і дугі, выкліканых нячыстай паражніной у працэсе напылення, неабходна паэтапна выдаляць напыленне, назапашанае ў цэнтры і па абодвух баках дарожкі напылення,
Гэта таксама дапамагае карыстальнікам бесперапынна распыляць з высокай шчыльнасцю магутнасці
7、 Мэтавае сховішча
Мішэні, вырабленыя Gaozhan metal, спакаваныя ў двухслаёвыя вакуумныя поліэтыленавыя пакеты.Мы выступаем за тое, каб карыстальнікі захоўвалі мішэні, металічныя ці керамічныя, у вакуумнай упакоўцы.У прыватнасці, злучальныя мішэні неабходна захоўваць ва ўмовах вакууму, каб прадухіліць акісленне злучнага пласта ад уплыву на якасць злучэння.Што датычыцца ўпакоўкі металічных мішэняў, мы выступаем за тое, каб Z быў упакаваны ў чыстыя поліэтыленавыя пакеты
Час размяшчэння: 13 мая 2022 г