З павелічэннем попыту на рынку пастаянна абнаўляецца ўсё больш тыпаў мішэняў для распылення.Некаторыя з іх знаёмыя, а некаторыя незнаёмыя кліентам.Цяпер мы хацелі б падзяліцца з вамі тыпамі мішэняў для магнетроннага распылення.
Мішэні для напылення маюць наступныя тыпы: мішэні з металічным напыленнем, мішэні з напыленнем са сплаву, мішэні з керамічным напыленнем, мішэні з борыднай керамікі, мішэні з карбіду, керамікі з фтарыдам, мішэні з нітрыду, керамікі з аксіду, мішэні з селеніду. , керамічная мішэнь для напылення з сіліцыду, керамічная мішэнь для напылення з сульфіду, керамічная мішэнь для напылення з тэлурыду, іншыя керамічныя мішэні, керамічная мішэнь з аксіду крэмнію, легіраваная хромам (CR SiO), мішэнь з фасфіду індыя (INP), мішэнь з арсеніду свінцу (pbas), мішэнь з арсеніду індыя (InAs). ).
Магнетроннае распыленне звычайна падзяляецца на два тыпы: напыленне пастаянным токам і радыёчастотнае напыленне.Прынцып абсталявання для распылення пастаяннага току просты, і яго хуткасць таксама высокая пры распыленні металу.Шырока выкарыстоўваецца радыёчастотнае напыленне.У дадатак да распылення токаправодных дадзеных, ён можа таксама распыляць неправодныя даныя.У той жа час мішэнь для распылення таксама ажыццяўляе рэактыўнае распыленне для падрыхтоўкі такіх злучэнняў, як аксіды, нітрыды і карбіды.Калі частата ВЧ павялічваецца, гэта стане мікрахвалевым плазменным распыленнем.У цяперашні час шырока выкарыстоўваецца мікрахвалевае плазменнае распыленне электроннага цыклатроннага рэзанансу (ЭЦР).
Час размяшчэння: 18 мая 2022 г