Мішэнь з тытанавага сплаву для распылення і металічны тытан складаюцца з тытана, таму інфармацыя прыкладна аднолькавая, але розніца паміж імі ў асноўным заключаецца ў тым, што мішэнь для распылення з тытанавага сплаву вырабляецца з металічнага тытана некалькімі спосабамі, і тытан сустракаецца ў прыродзе як тытанавая руда. Мішэні з тытанавага сплаву могуць шырока выкарыстоўвацца ў многіх прафесійных катэгорыях. Цяпер аўтар Пекіна Рычмата абагульніў некалькі распаўсюджаных мішэняў з тытанавага сплаву з пункту гледжання выкарыстання сітуацыі, каб даць нам падрабязнае ўвядзенне.
一、Ti-мішэні для інтэгральных схем
Патрабаванні да напылення мішэняў з тытанавага сплаву адрозніваюцца для неінтэгральных і інтэгральных схем.Увогуле, інтэгральныя схемы маюць больш высокія патрабаванні да даных аб пакрыцці, такія як больш высокая чысціня, меншы памер збожжа і больш дакладная дакладнасць маштабу. Чысціня тытанавых мішэняў у інтэгральных схемах перавышае 99,995%, што вышэй, чым у неінтэграваных ланцугоў, што сведчыць аб тым, што патрабаванні да тытанавай мішэні ў розных сферах выкарыстання вельмі розныя.
二、Ti target для плоскага дысплея
Мішэні з тытанавага сплаву, якія выкарыстоўваюцца ў плоскіх дысплеях, уключаюць вадкакрысталічны дысплей, плазменны дысплей, электралюмінесцэнтны дысплей і дысплей з полевым выпраменьваннем. Тонкая плёнка плоскага дысплея фарміруецца метадам напылення, Al, Cu, Ti і Mo з'яўляюцца асноўнымі металічнымі мішэнямі для напылення для плоскіх панэляў. дысплеі. Чысціня мішэняў з тытанавага сплаву для плоскіх дысплеяў звычайна перавышае 99,9%.
三、Цітанавыя мішэні для дэкаратыўных матэрыялаў
Мэтавы матэрыял з тытанавага сплаву высокай чысціні мае выдатную ўстойлівасць да карозіі на паветры, працяглае выкарыстанне ў паветры не мяняе колер, каб забяспечыць першапачатковы колер тытана і кантакт з чалавекам не выклікае алергіі і іншыя выдатныя характарыстыкі.Такім чынам, тытан высокай чысціні таксама можа быць выкарыстаны ў якасці дэкаратыўных матэрыялаў, у апошнія гады, такіх як бранзалеты, гадзіннікі і акуляры і іншыя ўпрыгажэнні з тытанам чысціні дасягнула ўзроўню 5N.
四、Цітанавыя мішэні для помпавых сістэм звышвысокага вакууму
Як хімічна актыўны метал, тытан можа ўступаць у рэакцыю з многімі элементамі і злучэннямі пры высокай тэмпературы.Мішэнь з тытанавага сплаву высокай чысціні мае моцную адсарбцыйную здольнасць для актыўных газаў (такіх як O2, N2, CO, CO2, вадзяная пара пры тэмпературы вышэй за 650 °C), а плёнка Ti, якая выпараецца на сценцы помпы, можа ўтвараць паверхню з высокай адсарбцыйнай прадукцыйнасцю. .Гэта ўласцівасць робіць Ti шырока выкарыстоўваным у якасці гетэра ў звышвысокавакуумнай сістэме экстракцыі газу. Калі яго выкарыстоўваць для паляпшэння помпы, распыляльнага іённага помпы і г.д., ён можа зрабіць канчатковы працоўны ціск распыляючага іённага помпы такім нізкім, як 10-9Па
Час публікацыі: 25 красавіка 2022 г