З развіццём прамысловых тэхналогій якасць мішэняў, неабходных для прамысловай вытворчасці, таксама становіцца ўсё вышэй і вышэй, таму што якасць мішэняў непасрэдна ўплывае на прадукцыйнасць плёнак магнетроннага напылення.У цяперашні час прадпрыемствы, як правіла, аддаюць перавагу выкарыстоўваць мішэні высокай шчыльнасці з аднастайнай структурай складу для напылення пакрыццяў пры куплі мішэняў, каб паменшыць шматразовае сшыванне мішэняў і палепшыць якасць напылення пакрыццяў. Такім чынам, гэта патрабуе ад вытворцы мішэні строга кантроль якасці target.Now няхай рэдактар ПекінаРычматпрыняць вас, каб зразумець, якія фактары ўплываюць на якасць мэты.
1、Уплыў параметраў працэсу на якасць мішэні
Параметры працэсу ў асноўным уключаюць ціск халоднага адціскання, хуткасць павышэння ціску і хуткасць вымання формы і іншыя параметры.Калі мішэнь халоднага адціскання, ціск будзе непасрэдна ўплываць на якасць нарыхтоўкі мішэні;Хуткасць нагнятання мае вялікі ўплыў на расслаенне мэтавай нарыхтоўкі, і першапачатковы стан, калі парашок раўнамерна запаўняецца ў адмоўную форму, з'яўляецца слабым станам, які мае шмат пор і газаў, і выкід газаў займае перыяд час.
2、TheУплыў цвілі на якасць мэты
Пэўны ўплыў на фарміраванне нарыхтоўкі мішэні аказвае і форма.Да асноўных фактараў, якія ўплываюць, адносяцца аздабленне паверхні ўнутранага боку формы, зазор паміж пуансонам і паражніной формы і г.д., калі зазор занадта вялікі, будзе адбывацца расцяканне парашка і ўцечка парашка, што зробіць гранічную шчыльнасць нізкая нарыхтоўка і праблемы з якасцю, такія як падзенне краю падчас вымання з формы.
3、Уплыў вільготнасці матэрыялу на якасць мішэні
Вільгаць, якая змяшчаецца ў парашку мэтавага матэрыялу, эквівалентная эфекту змазкі, і яе прысутнасць можа паменшыць трэнне паміж часціцамі, што спрыяе эфектыўнай перадачы ціску халоднага прэсавання, а таксама спрыяе плаўнаму слізгаценню і перагрупоўка паміж часціцамі парашка.Аднак, калі ўтрыманне вады занадта малое або занадта шмат, гэта паўплывае на якасць мішэні.
Калі ўтрыманне вады ў парашку ITO менш за 2%, верагоднасць праблем з якасцю, такіх як страта краёў і расслаенне мэтавага матэрыялу, будзе значна ўзрастаць, калі іншыя ўмовы, такія як ціск халоднага адціскання і ўтрыманне злучнага рэчыва, аднолькавыя. Калі вада утрыманне ў парашку ITO больш за 10%, пры аднолькавым ціску халоднага прэсавання, утрыманні злучнага рэчыва і іншых умовах, хоць часціцы парашка слізгаюць і перагрупоўваюцца лягчэй, вада выцякае з унутранага боку формы, што выкліча праблему падзення краю вакол нарыхтоўкі мэтавага матэрыялу.Вынікі паказваюць, што калі ўтрыманне вады ў парашку складае ад 3% да 6%, якасць нарыхтоўкі эфектыўна кантралюецца.
4、Уплыў зместу звязальнага на якасць мэты
Колькасць уключанага злучнага аказвае вялікі ўплыў на якасць мэтавага матэрыялу.Калі колькасць уключэння складае менш за 1%, мэтавая нарыхтоўка будзе мець вельмі сур'ёзныя праблемы з якасцю, у гэты час эфект злучнага не выяўляецца, і гэта практычна не ўплывае на павышэнне трываласці мэтавай нарыхтоўкі. павелічэнне ўключэння злучнага да 2% і 3%, трываласць мэтавага матэрыялу павышаецца, і праблема якасці мэтавага матэрыялу значна зніжаецца.Аднак, калі звязальнае ўключана да 4 %, хоць праблема якасці халоднага адціскання нарыхтоўкі мэтавага матэрыялу знікае, мэтавы матэрыял час ад часу адслойваецца падчас наступнага працэсу вымання з формы.
Час публікацыі: 22 красавіка 2022 г