Цяпер усё больш карыстальнікаў разумеюць тыпы мішэняў іяго прымяненне, але яго падраздзяленне можа быць не вельмі зразумелым.Зараз давайцеІнжынер РСМ падзяліцца з вамінейкая індукцыя мішэняў магнетроннага распылення.
Мішэнь для распылення: металічная мішэнь з напыленнем, мішэнь з напыленнем са сплаву, мішэнь з керамічным напыленнем, мішэнь з борыднай керамікі, мішэнь з карбіду, кераміка з фтарыду, мішэнь з нітрыду, кераміка з аксіду, мішэнь з селеніду, кераміка з сіліцыду. мішэнь, сульфідна-керамічная мішэнь для напылення, тэлурыдная керамічная мішэнь для напылення, іншыя керамічныя мішэні, керамічная мішэнь з аксіду крэмнію, дапаваная хромам (CR SiO), мішэнь з фасфіду індыя (INP), мішэнь з арсеніду свінцу (pbas), мішэнь з арсеніду індыя (InAs).
Магнетроннае распыленне звычайна падзяляецца на два тыпы: напыленне пастаянным токам і радыёчастотнае напыленне.Прынцып абсталявання для распылення пастаяннага току просты, і яго хуткасць таксама высокая пры распыленні металу.Шырока выкарыстоўваецца радыёчастотнае напыленне.У дадатак да распылення токаправодных дадзеных, ён можа таксама распыляць неправодныя даныя.Мішэнь для распылення таксама можа быць выкарыстана для рэактыўнага распылення для падрыхтоўкі такіх злучэнняў, як аксіды, нітрыды і карбіды.Калі частата ВЧ павялічваецца, гэта стане мікрахвалевым плазменным распыленнем.У цяперашні час шырока выкарыстоўваецца мікрахвалевае плазменнае распыленне электроннага цыклатроннага рэзанансу (ЭЦР).
Час размяшчэння: 26 мая 2022 г