Мы ўсе ведаем, што існуе мноства спецыфікацый распыляльнай мішэні,які мае аўide дыяпазон прымянення.Tмэтавыя разнавіднасці, якія звычайна выкарыстоўваюцца ў розных галінах прамысловасці, таксама розныя, сёння давайце прыйдзем з ПекінРычмат разам, каб даведацца пра галіновую класіфікацыю мэтаў напылення.
一、Вызначэнне матэрыялу мішэні для распылення
Распыленне - адна з асноўных тэхналогій атрымання тонкаплёнкавых матэрыялаў.Ён выкарыстоўвае іёны, якія ўтвараюцца крыніцай іёнаў, для фарміравання пучка іёнаў з энергіяй высокай хуткасці за кошт паскоранай агрэгацыі ў вакууме. Іёны і атамы паверхні цвёрдага рэчыва падвергнутыя бамбардзіроўцы і абменьваюцца кінетычнай энергіяй, так што атамы на паверхні цвёрдага цела пакідаюць цвёрдае цела і асаджваюцца на паверхні падкладкі, бамбардзіраванае цвёрдае рэчыва з'яўляецца сыравінай для падрыхтоўкі плёнкі, нанесенай напыленнем, вядомай як мішэнь для распылення.
二、Класіфікацыя вобласці прымянення матэрыялаў для распылення мішэняў
1、Паўправадніковая мішэнь
(1)Звычайна выкарыстоўваны матэрыял:Агульныя мэты ў гэтай галіне ўключаюць тантал, медзь, тытан, алюміній, золата, нікель і іншыя металы з высокай тэмпературай плаўлення.
(2)Выкарыстанне:У асноўным выкарыстоўваюць важныя зыходныя дадзеныя інтэгральнай схемы
(3)Функцыянальныя патрабаванні:Тэхнічныя патрабаванні да чысціні, памеру, інтэграцыі высокія.
2,Мэтавы матэрыял для плоскаснага адлюстравання
(1)Звычайна выкарыстоўваны матэрыял:Мішэні, якія звычайна выкарыстоўваюцца ў гэтай галіне, ўключаюць алюміній / медзь / малібдэн / нікель / ніобій / крэмній / хром і г.д.
(2)Выкарыстанне:Гэты від мэтавага матэрыялу ў асноўным выкарыстоўваецца ў розных тыпах вялікай плошчы фільмаў для тэлевізараў і ноўтбукаў.
(3)Функцыянальныя патрабаванні:Высокія патрабаванні да чысціні, вялікай плошчы, аднастайнасці і гэтак далей.
3、Мішэні для сонечных батарэй
(1)Звычайна выкарыстоўваны матэрыял:Мішэні з алюмінія/медзі/малібдэна/хрому/ITO/Ta звычайна выкарыстоўваюцца ў сонечных элементах.
(2)Выкарыстанне:У асноўным выкарыстоўваецца ў «аконным слоі», бар'ерным слоі, электродзе і токаправоднай плёнцы і ў іншых выпадках.
(3)Функцыянальныя патрабаванні:Высокія патрабаванні да кваліфікацыі, шырокі спектр выкарыстання.
4、Мэтавы матэрыял для захоўвання інфармацыі
(1)Звычайна выкарыстоўваны матэрыял:Для захоўвання інфармацыі звычайна выкарыстоўваюцца кобальт / нікель / ферасплав / хром / тэлур / селен.
(2)Выкарыстанне:Мэтавы матэрыял тут у асноўным выкарыстоўваецца для галаўнога, сярэдняга і ніжняга пластоў кампакт-дыскаў і кампакт-дыскаў.
(3) Функцыянальныя патрабаванні:Патрабуецца высокая шчыльнасць захоўвання і высокая хуткасць перадачы.
5、Мэтавы матэрыял для мадыфікацыі інструмента
(1)Звычайна выкарыстоўваны матэрыял:Інструмент мадыфікацыі тытана / цырконія / рашоткі / хром-алюмініевага сплаву і іншых мішэняў.
(2)выкарыстанне:Звычайна яго выкарыстоўваюць для паляпшэння знешнасці.
(3)Функцыянальныя патрабаванні:Высокія функцыянальныя патрабаванні, працяглы тэрмін службы.
6、Мэтавыя матэрыялы для электронных прылад
(1)Звычайна выкарыстоўваны матэрыял:Мішэні з алюмініевага сплаву/сіліцыду звычайна выкарыстоўваюцца ў электронных прыладах
(2)Выкарыстанне:Звычайна выкарыстоўваецца для плёнкавых рэзістараў і кандэнсатараў.
(3)Функцыянальныя патрабаванні:Невялікі памер, стабільнасць, нізкі тэмпературны каэфіцыент супраціву
Час публікацыі: 21 красавіка 2022 г