У паўправадніковай прамысловасці часта ўжываецца тэрмін для мэтавых матэрыялаў, якія можна падзяліць на пласціны і ўпаковачныя матэрыялы.Упаковачныя матэрыялы маюць адносна нізкія тэхнічныя бар'еры ў параўнанні з матэрыяламі для вытворчасці пласцін.Працэс вытворчасці пласцін у асноўным уключае 7 тыпаў паўправадніковых матэрыялаў і хімічных рэчываў, у тым ліку адзін тып распыляльнага матэрыялу мішэні.Такім чынам, што такое мэтавы матэрыял?Чаму мэтавы матэрыял так важны?Сёння мы пагаворым пра тое, што такое мэтавы матэрыял!
Што такое мэтавы матэрыял?
Прасцей кажучы, матэрыял мішэні - гэта матэрыял мішэні, бамбардзіраваны высакахуткаснымі зараджанымі часціцамі.Замяняючы розныя матэрыялы мішэняў (напрыклад, алюміній, медзь, нержавеючая сталь, тытан, нікель і г.д.), можна атрымаць розныя плёнкавыя сістэмы (напрыклад, звышцвёрдыя, зносаўстойлівыя, плёнкі з антыкаразійных сплаваў і г.д.).
У цяперашні час матэрыялы (чысціні) для распылення мішэняў можна падзяліць на:
1) Металічныя мішэні (чысты металічны алюміній, тытан, медзь, тантал і г.д.)
2) Мішэні са сплаву (сплаў нікель-хром, сплаў нікель-кобальт і г.д.)
3) Керамічныя камбінаваныя мішэні (аксіды, сіліцыды, карбіды, сульфіды і інш.).
У залежнасці ад розных пераключальнікаў, яго можна падзяліць на: доўгую мішэнь, квадратную мішэнь і круглую мішэнь.
У залежнасці ад розных абласцей прымянення яго можна падзяліць на: мішэні для паўправадніковых мікрасхем, мішэні для плоскіх дысплеяў, мішэні для сонечных батарэй, мішэні для захоўвання інфармацыі, мадыфікаваныя мішэні, мішэні для электронных прылад і іншыя мішэні.
Гледзячы на гэта, вы павінны былі атрымаць уяўленне аб мішэнях з распыленнем высокай чысціні, а таксама аб алюмініі, тытане, медзі і тантале, якія выкарыстоўваюцца ў металічных мішэнях.У вытворчасці паўправадніковых пласцін апрацоўка алюмініем звычайна з'яўляецца асноўным метадам вырабу пласцін 200 мм (8 цаляў) і менш, а мэтавымі матэрыяламі выкарыстоўваюцца ў асноўным алюмініевыя і тытанавыя элементы.Вытворчасць 300-міліметровых (12-цалевых) пласцін, у асноўным з выкарыстаннем перадавой тэхналогіі злучэнняў з медзі, галоўным чынам з выкарыстаннем медных і танталавых мішэняў.
Кожны павінен разумець, што такое мэтавы матэрыял.У цэлым, з павелічэннем дыяпазону прымянення чыпаў і ростам попыту на рынку чыпаў, безумоўна, будзе павялічвацца попыт на чатыры асноўныя тонкаплёнкавыя металічныя матэрыялы ў прамысловасці, а менавіта алюміній, тытан, тантал і медзь.І ў цяперашні час няма іншага рашэння, якое магло б замяніць гэтыя чатыры тонкаплёнкавыя металічныя матэрыялы.
Час публікацыі: 6 ліпеня 2023 г