Силицид вальфраму

Сіліцыд вальфраму WSi2 выкарыстоўваецца ў якасці матэрыялу для паразы электрычным токам у мікраэлектроніцы, шунтаванні на правадах з полісілікону, антыакісляльным пакрыцці і ўстойлівым пакрыцці правадоў.Сіліцыд вальфраму выкарыстоўваецца ў якасці кантактнага матэрыялу ў мікраэлектроніцы з удзельным супрацівам 60-80 мкОм см.Ён утвараецца пры 1000°C.Звычайна ён выкарыстоўваецца ў якасці шунта для полікрэмніевых ліній, каб павялічыць яго праводнасць і павялічыць хуткасць сігналу.Сіліцыд вальфраму можа быць атрыманы шляхам хімічнага асаджэння з паравай фазы, напрыклад, з паравай фазы.Выкарыстоўвайце моносилан або дихлорсилан і гексафтарыд вальфраму ў якасці сыравіны газу.Асаджаная плёнка з'яўляецца нестехиометрической і патрабуе адпалу, каб ператварыцца ў больш праводную стехиометрическую форму.

Сіліцыд вальфраму можа замяніць ранейшую плёнку вальфраму.Сіліцыд вальфраму таксама выкарыстоўваецца ў якасці бар'ернага пласта паміж крэмніем і іншымі металамі.

Сіліцыд вальфраму таксама вельмі каштоўны ў мікраэлектрамеханічных сістэмах, сярод якіх сіліцыд вальфраму ў асноўным выкарыстоўваецца ў якасці тонкай плёнкі для вытворчасці мікрасхем.Для гэтай мэты плёнка силицида вальфраму можа быць пратручана плазмай з выкарыстаннем, напрыклад, силицида.

Кампанія Rich Special Materials спецыялізуецца на вытворчасці мішэняў для напылення і можа вырабляць матэрыялы для напылення з сіліцыду вальфраму ў адпаведнасці са спецыфікацыямі кліентаў.Для атрымання дадатковай інфармацыі, калі ласка, звяжыцеся з намі.